工業溫濕度變送器的精度表示變送器讀數和系統實際溫度之間的誤差。在說明書中，精度指標和溫度范圍相對應。通常針對不同溫度范圍，有數個高精度指標。對于-25-100℃溫度范圍來說，±2℃精度是很常見的，但還有更高精度的器件。
工業溫濕度變送器的分辨率與靈敏度概念說明：
1.分辨率
指變送器可感受到的被測量的最小變化的能力。也就是說，如果輸入量從某一非零值緩慢地變化。當輸入變化值未超過某一數值時，變送器的輸出不會發生變化，即變送器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當輸入量的變化超過分辨率時，其輸出才會發生變化。分辨率通常理解為A/D轉換精度或能感知的最小變化而精度通常指A/D、傳感電路其它因素等綜合因素，誤差除以顯示所得的百分比。數字式儀表通常決定于A/D轉換器的位數精度是變送器重復測量同一標準值的大百分誤差，是校準后衡量準確程度的指標分辨率要優于精度幾倍。
2.靈敏度
指變送器在穩態工作情況下輸出量變化y對輸入量變化x的比值，即輸出、輸入量的量綱之比。例如某變送器，在位移變化1mm時，輸出電壓變化為200mV，則其靈敏度應表示為200mV/mm。變送器靈敏度是輸出-輸入特性曲線的斜率。如果變送器的輸出和輸入之間顯線性關系，則靈敏度S是一個常數。否則，它將隨輸入量的變化而變化。當變送器的輸出、輸入量的量綱相同時，靈敏度可理解為放大倍數。提高靈敏度，可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高，測量范圍愈窄，穩定性也往往愈差。
